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VeecoRF350

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VeecoRF350

  • 所属分类:刻蚀机Etcher

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/16
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详细介绍


Veeco RF350 IBE configuration information:

1.Veeco RF350 Ion milling tool (IBE)

2.Manual load

3.One etch chamber with 6'' configuration

4.Veeco 350 ion source with 12.5'' grids

5.Seren RF power supply

6.Maglev turbo pump

7.Neslab HX150 chiller


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