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Magnetron sputtering (磁控溅射台))

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MRC PVD(贵州)MRC PVD(own warehouse)

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  • 所属分类:蒸发溅射台Evaporator sputter

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/07/07
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详细介绍



MRC Eclipse Star sputtering system configuration information:

1.S/N:13658

2.Vintage:2008

3.Wafer size: 4''/5''/6''

4.-. RF Chamber: Soft etch

-. Sput1: Ti(RMX-10"" Cathode)

-. Sput2: Al(SPA-10"" Cathode)

-. Sput3: Ni(RMX-10"" Cathode)"

5.DC power supply

6.9600 compressor

 


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